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RF電源 RFS-Nシリーズ

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    RFS-Nシリーズは、13.56MHz・1kW/500W出力のプラズマプロセス用RF電源です。 装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバックし、高速オートマッチングを実現しています。

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株式会社 アルバック 株式会社 アルバック
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