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東洋炭素の表面被覆技術 『PERMA KOTE Sic 被覆材料』

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  • 【表面処理材料】SiCコート被覆材 PERMA-KOTE(R) 【表面処理材料】SiCコート被覆材 PERMA-KOTE(R)
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    半導体製品の急速な高集積化に伴い、炭素材料表面の脱ガス量、発塵量や不純物量の低減など高純度な黒鉛製品が求められ、等方性黒鉛表面にCVD法にてSiC[炭化ケイ素]を被覆したPERMA KOTE(R)が半導体産業分野を中心に活躍しています。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

企業情報

SHANGHAI TOYO TANSO CO., LTD. SHANGHAI TOYO TANSO CO., LTD.
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