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超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」

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    電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ      ~ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ~ ※CAD図サンプル有 超薄型XYθ(アライメント)ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。

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赫菲(上海)轴承商贸有限公司 赫菲(上海)轴承商贸有限公司
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