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真空蒸着装置 『SEC-06D』

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    昭和真空の真空蒸着装置「SEC-06D」は、研究開発から生産まで幅広くお使い頂ける真空蒸着装置です。 ①本装置は、抵抗加熱式蒸発源を使用して金属材料を蒸発させ、基板上に薄膜を形成するための真空蒸着装置です。 ②装置はバッチ式で、最大Φ400mmのドーム1枚を搭載します。 ③蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 ④操作制御系は全自動式になっています。

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昭和真空機械貿易(上海)有限公司 昭和真空機械貿易(上海)有限公司
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