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RF电源 RFS-N系列

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产品、服务信息

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    RFS-N系列为13.56MHz・1kW/500W输出功率的等离子工艺用RF电源。 以ULVAC作为设备厂商积累的独有设计以实现回馈,、实现高速自动化Matching。

公司信息

ULVAC, Inc. ULVAC, Inc.
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