直径2インチ以下の小型基板を洗浄・乾燥する装置です。
独自に開発したブラシ洗浄とスピン乾燥機構により、高いレベルの清浄度を実現します。
研究開発などで使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・MEMSパーツなどの洗浄・乾燥におすすめです。
また、自動搬送オプションを付けて、大量処理対応も可能です。
新規材料の研究開発、デバイス化を強力にサポートします。
価格 |
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納期目安 |
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中国国内在庫 |
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URL |
●2インチ以下の基板に対し高いレベルの洗浄・乾燥が可能
●自動搬送の有無・メガソニックの有無などをご要望によりカスタム設計
用途:深紫外線向けLED関連商品 等
対応可能言語
日本語 英語
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