小型基板洗浄機『NAMIKI-ECCLEAR』

２インチ以下小型結晶の成長基板用の洗浄・乾燥におすすめ

直径2インチ以下の小型基板を洗浄・乾燥する装置です。
独自に開発したブラシ洗浄とスピン乾燥機構により、高いレベルの清浄度を実現します。
研究開発などで使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・MEMSパーツなどの洗浄・乾燥におすすめです。
また、自動搬送オプションを付けて、大量処理対応も可能です。

新規材料の研究開発、デバイス化を強力にサポートします。