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    FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA:昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている  シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • どんな大型開口サイズにも対応可能なゲートバルブ どんな大型開口サイズにも対応可能なゲートバルブ
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    基板サイズの大型化に伴い製造装置も大型化している為、装置のコストUPがネックになっています。                            弊社のGARIVAシリーズであれば、装置のコストダウン、軽量化を実現出来ます。                                        GARIVA最大の特徴「差圧Cancel機構」は世界でもOnly Oneの特許技術。この方式によりお客様のコスト問題を解決致します。 【ラインアップ】 ■GARIVA:差圧Cancel用Bellows搭載のT-motion動作■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 大型開口サイズでも安定したシール性能を確保したゲートバルブ 大型開口サイズでも安定したシール性能を確保したゲートバルブ
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    FPD市場はLCD(液晶)→OLED(有機EL)に移行していますがどちらの市場でもトップシェアを握るのが弊社の大型ゲートバルブです。                                        大型サイズ、高温仕様、基板水平搬送&縦搬送と、お客様のカスタム設計に柔軟に対応可能です。自社のBellowsを搭載している為、設計の自由度も他社に比べて高い点が特徴の一つです。                                   GARIVAシリーズは弊社独自の差圧Cancel機構を有した特許品の為、世界で唯一どんなサイズでも対応可能です。 【ラインアップ】 ■GARIVA:内製Bellows搭載の特許技術製品■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業情報

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD. 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.
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