高真空アングルバルブシリーズ

高真空アングルバルブシリーズ

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高真空アングルバルブシリーズ

片側回転フランジのため、取付けが容易!3種類の接続形式に、手動及び自動をシリーズ化

『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを
内蔵した長寿命の真空バルブです。

取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び
有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空
フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化。

また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズも
新しく規格品として用意しました。

【特長】
■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成
■全体がコンパクト設計により小型、軽量化
■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない
■取り付け姿勢が自由
■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる

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URL

http://www.ikc.co.jp/products/valve.html

対象業界

半導体・液晶・FPD 

企業情報

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD. 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.

製品・サービス特長

【ラインアップ】
■高真空アングルバルブ(16A~65A)
■高真空アングルバルブ(80A~100A)
■高真空ストレートバルブ(16A~63A)

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