コスラーズゲートバルブ

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コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm~2000mm!第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化!

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、
真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える
大型のゲートバルブを開発しました。

FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化
しましたので紹介致します。

【ラインアップ】
■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成
■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成
■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成
■SWELL GARIVA:昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている
 シール用シリンダによって構成

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URL

http://www.ikc.co.jp/products/valve/square_gate_valve.html

対象業界

半導体・液晶・FPD 

企業情報

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD. 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.

製品・サービス特長

【特長】
■パーティクルフリー
■高いレベルのシール性
■イージーメンテナンス
■長寿命で高品質

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