高真空アングルバルブシリーズ

高真空アングルバルブシリーズ

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高真空アングルバルブシリーズ

内製Bellowsを搭載した高真空アングルバルブ

自社のBellowsを搭載した高真空アングルバルブ。
内製品Bellowsの為、最適設計品を搭載。従って品質の信頼性は他社に比べて自信がございます。
装置の取り合いに応じた以下3つのフランジをラインナップ。                                             ・JISフランジ(一般規格)
・NW-KFフランジ(ISO規格)                                           ・今フラットフランジ(超高真空及び有毒ガス向け)                                  

【特長】
■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成
■全体がコンパクト設計により小型、軽量化
■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない
■取り付け姿勢が自由
■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる

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http://www.ikc.co.jp/products/valve.html
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対象業界

半導体・液晶・FPD 

企業情報

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD. 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.

製品・サービス特長

【ラインアップ】
■高真空アングルバルブ(16A~65A)
■高真空アングルバルブ(80A~100A)
■高真空ストレートバルブ(16A~63A)

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