次世代対応型ゲートバルブ

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次世代対応型ゲートバルブ

半導体向け低パーティクル対応ゲートバルブ

半導体チップの微細化に伴い、製造装置には低パーティクルが求められています。                            弊社独自の開発により、低パーティクル化を実現。同時に低振動化も図りました(社内比50%低減)       お客様の特殊仕様に対応したカスタム設計も可能。自社Bellowsを搭載している為、設計の自由度も十分です。

【特長】
■パーティクルフリー
■高いレベルのシール性能
■イージーメンテナンス
■長寿命でハイレベルな品質

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中国国内在庫

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URL

http://www.ikc.co.jp/products/valve/square_gate_valve.html

対象業界

半導体・液晶・FPD 

企業情報

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD. 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.

製品・サービス特長

【その他の特長】
■無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保つ
■シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮
■お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して設計
■弁箱付タイプはメンテナンスフランジを上部に設けており、
 上部より弁板の脱着が可能
■100万回のライフサイクルと安定した品質をご提供

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用途/使用例

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COMPACT KOSLARZEII

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