マスフローコントローラ 『FC-R7800』

マスフローコントローラ 『FC-R7800』

マスフローコントローラ 『FC-R7800』

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、メタルシールによる優れた高い機密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。

【メリット】
・高速応答性 - 設定値入力後1秒未満で流量安定
・高い信頼性
・容易な裾付け - 標準のコネクタと寸法を確保
・高い実績 - 高品質の薄膜特性

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URL

http://www.ask-ibs.jp/goods/detail.php?id=340&bc=1&mc=2&sc=16

対象業界

産業用機械・装置  計測・分析機器 

企業情報

上海新愛示国際貿易有限公司 上海新愛示国際貿易有限公司

製品・サービス特長

【仕様】
・耐腐食設計
・メタルシール採用
・VCR、Swagelok互換の接続部
・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1×10‐11Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート

優れた均一性はもちろんのこと、高再現性の薄膜特性を実現しています。また、フィールドで稼動する3万台超のユニットのうち、出荷後の一年以内に返送されたシステムは0.5%未満という事実が高い信頼性を物語っています。

用途/使用例

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マスフローコントローラ 『FC-R7800』

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