半導体センサ(センサIC) 製品・サービス

半導体センサ(センサIC)

半導体/半導体デバイス

  • 常州入江精工有限公司 製品及びサービス紹介 常州入江精工有限公司 製品及びサービス紹介
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    中国のハイテク産業の急成長に伴い、現地対応需要が高まっています。弊社の中国グループ会社「常州入江精工」は既に半導体大手装置メーカー向けに難易度の高い溶接加工品の生産実績もあり、且つFPD製造装置向け真空角形ゲートバルブのオーバーホールを実施しております。今後の半導体/FPD市場向けMade in China要求に順次応えるよう、生産体制を確立中です。 【サービス内容】 ■FPD向け真空ゲートバルブのオーバーホール        ■クリーンエリア内でのステンレスTIG溶接を主体とした溶接作業を伴う加工作業 ■薄肉溶接、溶接熱歪防止を考慮した溶接作業、高真空領域を含めた真空漏洩試験 ■IKCグループとの連携で、日本同等レベルの生産管理 品質管理が可能

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

    入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD.

  • どんな大型開口サイズにも対応可能なゲートバルブ どんな大型開口サイズにも対応可能なゲートバルブ
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    基板サイズの大型化に伴い製造装置も大型化している為、装置のコストUPがネックになっています。                            弊社のGARIVAシリーズであれば、装置のコストダウン、軽量化を実現出来ます。                                        GARIVA最大の特徴「差圧Cancel機構」は世界でもOnly Oneの特許技術。この方式によりお客様のコスト問題を解決致します。 【ラインアップ】 ■GARIVA:差圧Cancel用Bellows搭載のT-motion動作■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • 大型開口サイズでも安定したシール性能を確保したゲートバルブ 大型開口サイズでも安定したシール性能を確保したゲートバルブ
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    FPD市場はLCD(液晶)→OLED(有機EL)に移行していますがどちらの市場でもトップシェアを握るのが弊社の大型ゲートバルブです。                                        大型サイズ、高温仕様、基板水平搬送&縦搬送と、お客様のカスタム設計に柔軟に対応可能です。自社のBellowsを搭載している為、設計の自由度も他社に比べて高い点が特徴の一つです。                                   GARIVAシリーズは弊社独自の差圧Cancel機構を有した特許品の為、世界で唯一どんなサイズでも対応可能です。 【ラインアップ】 ■GARIVA:内製Bellows搭載の特許技術製品■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • 次世代対応型ゲートバルブ 次世代対応型ゲートバルブ
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    半導体チップの微細化に伴い、製造装置には低パーティクルが求められています。                            弊社独自の開発により、低パーティクル化を実現。同時に低振動化も図りました(社内比50%低減)       お客様の特殊仕様に対応したカスタム設計も可能。自社Bellowsを搭載している為、設計の自由度も十分です。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • ニーズに応じた特殊形状も対応可能なベローズ ニーズに応じた特殊形状も対応可能なベローズ
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    Bellowsに最も使用されているStainless材の他、アルミニウム材成形Bellows、チタン材成形Bellowsも対応可能です。腐食性ガス導入部の熱伸縮用にアルミ材Bellowsが使用されるケースもあり、他社には対応不可能な豊富な実績もございます。                                            民間企業や公官庁向け、国家プロジェクト向けにも多くの実績がございます。 【特長】 ■矩形ベローズシリーズ ・チャンバー間の接続部やチャンバーとゲートバルブの接続部の取り付け誤差吸収用 ■長円形ベローズシリーズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で変位性能を向上させた製品 ・成形ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■自由形ベローズシリーズ ・装置設計や配管設計の都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズのスペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで適切な開口形状に製作する製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • 用途に応じたカスタム設計対応溶接ベローズ 用途に応じたカスタム設計対応溶接ベローズ
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    角形ゲートバルブ、半導体ウェハ受け取り昇降導入機、ビーム照射機振動吸収用、医療装置向けなどBellows単品ではなく多様な用途にも活用されています。Bellowsの変位方向は通常Z軸方向の昇降変位、もしくはXY方向変位の軸直角変位のみですが、弊社のBellowsは捻じれ変位にも対応可能です。お客様のご要望に応える技術を有しておりますので、いつでもご相談ください。 【特長】 <NS,NA規格溶接べローズ> ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■長寿命での使用が可能 ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付きは、お客様での溶接が可能 ■取付け方向に制限がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • 品質を重視した高性能溶接ベローズ 品質を重視した高性能溶接ベローズ
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    プロセスに応じた材質でのBellows製作対応。ステンレス(SUS316L、AM350)はPVD、各搬送UNIT向け。Etch、CVD向けはハステロイ材で製作。          昇降動作のみでなく、軸直角変位、捻じれ変位にも対応可能。高品質な為、他社の置き換え実績も多数あり。半導体向けには弊社の高品質品を搭載すればリーク不具合による装置停止を避け、生産性向上に貢献いたします。 【特長】 <NS,NA規格溶接べローズ> ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■長寿命での使用が可能 ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付きは、お客様での溶接が可能 ■取付け方向に制限がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 特殊材も対応可能な成形べローズ 特殊材も対応可能な成形べローズ
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    半導体、FPDなどの真空装置の配管部にも使用されますが、ポンプとチャンバー間のダンパー(振動吸収)用にも多く採用されています。また、特殊材としてアルミニウム、チタン材でも対応が可能です。用途により100万回高寿命タイプも対応可能です。お気軽にご相談ください。 【特長】 ■ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる ■応力のバラツキを防止出来る ■量産製作での品質の均一化が図れる ■廉価である ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 高真空アングルバルブシリーズ 高真空アングルバルブシリーズ
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    自社のBellowsを搭載した高真空アングルバルブ。 内製品Bellowsの為、最適設計品を搭載。従って品質の信頼性は他社に比べて自信がございます。 装置の取り合いに応じた以下3つのフランジをラインナップ。                                             ・JISフランジ(一般規格) ・NW-KFフランジ(ISO規格)                                           ・今フラットフランジ(超高真空及び有毒ガス向け)                                   【特長】 ■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成 ■全体がコンパクト設計により小型、軽量化 ■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない ■取り付け姿勢が自由 ■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • 常州入江精工有限公司 製品及びサービス紹介 常州入江精工有限公司 製品及びサービス紹介
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    常州入江精工は入江工研の金属ベローズの世界№1の技術と実績を生かし、中国に於いて物作りを始めました。中国の産業発展のため貢献し、金属ベローズのみならず、新たな事業分野の開拓、市場が求めるさまざまな産業分野の製品作りにチャレンジし、グローバルな新たな発信基地とし展開して参ります。 【サービス内容】 ■クリーンエリア内でのステンレスTIG溶接を主体とした溶接作業を伴う加工作業 ■薄肉溶接、溶接熱歪防止を考慮した溶接作業、高真空領域を含めた真空漏洩試験 ■IKCグループとの連携で、日本同等レベルの生産管理 品質管理が可能 【サービス事例】  ①半導体装置会社様に対して、中国ローカル会社では要求レベルに達成出来なかったが、 弊社では顧客仕様を打合せ等にて把握し、要求レベルに達する様生産手法対応 (例:複数回溶接毎に熱歪防止対策を行う)し、顧客の装置性能レベルアップに寄与。 ②UV滅菌処理用タンクにおいて、溶接作業時に真空機器用溶接施工同様に裏面溶接、焼け防止対策を施し、大量需要に対応する様、半自動溶接機を独自開発。 中国製SUS304材料利用での耐腐食性表面処理として不働態化被膜形成※1を実施。

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  • コスラーズゲートバルブ コスラーズゲートバルブ
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    FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA:昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている  シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • COMPACT KOSLARZEII COMPACT KOSLARZEII
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    『COMPACT ·KOSLARZEII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して 設計されております。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 特殊形状ベローズ 特殊形状ベローズ
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    入江工研では、『特殊形状ベローズ』を取り扱っております。 正方形、長方形の開口を基本形状とした「矩形ベローズシリーズ」をはじめ、 角丸長方形の開口を基本形状とした「長円形ベローズシリーズ」お客様の 御要望に沿った開口で製作する「自由形ベローズシリーズ」をラインアップ。 様々なニーズに合った製品を御提案致します。 【特長】 ■矩形ベローズシリーズ ・チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの  接続部の取り付け誤差吸収用 ・折込ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■長円形ベローズシリーズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で  変位性能を向上させた製品 ・成形ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■自由形ベローズシリーズ ・装置設計や配管設計の都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズの  スペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで適切な  開口形状に製作する製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 溶接ベローズ 溶接ベローズ
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    『溶接ベローズ』は、精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に 溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。 コンパクトで大きい伸縮量が得られる「NS,NA規格溶接べローズ」と、 一山あたりのストロークが従来の30%以上アップし、経済性を実現した 「コンパクト溶接ベローズ」をラインアップしています。 【特長】 <NS,NA規格溶接べローズ> ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■長寿命での使用が可能 ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付きは、お客様での溶接が可能 ■取付け方向に制限がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 成形べローズ 成形べローズ
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    『成形べローズ』は、溶接べローズに比べて歴史的に古くいろいろな 製造方法が考案されていますが、一般的に広く採用されているのは、 機械的に成形するロール成形法と、液圧によるバルジ成形法があります。 当社は、独自の液圧成形法により製作。 応力のバラツキを防止が可能で、量産製作での品質の均一化が図れます。 【特長】 ■ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる ■応力のバラツキを防止出来る ■量産製作での品質の均一化が図れる ■廉価である ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 高真空アングルバルブシリーズ 高真空アングルバルブシリーズ
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    『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化。 また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズも 新しく規格品として用意しました。 【特長】 ■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成 ■全体がコンパクト設計により小型、軽量化 ■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない ■取り付け姿勢が自由 ■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • NW-KF配管継手 NW-KF配管継手
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    当社が取り扱う『NW-KF配管継手』をご紹介します。 取扱いが非常に便利なISO規格によるNW-KFフランジの配管継手として、 真空配管用「VPシリ-ズ」と高圧配管用「HPシリ-ズ」を規格化しご用意。 この他に、溶接用フランジやブロックフランジなどの「真空パイプパーツ」も 取り扱っています。 【特長】 ■ボルト、ナットが不要 ■フランジのテーパー部にカップリングの内側のテーパー部をはめ込み  蝶ネジを回す事だけで容易に着脱できる ■加熱温度は150℃まで可能 ■Heリーク量は1×10^-9Pa・m3/s以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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  • ロイヤル成形ベローズ/スーパー成形ベローズ ロイヤル成形ベローズ/スーパー成形ベローズ
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    当社が取り扱う、高性能な成形ベローズをご紹介します。 『LFB』は、溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回)した ロイヤル成形ベローズです。 優れた耐食性を有しており、Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 650°に於いてSUS316Lの常温引張強さ、0.2%耐力等よりも優れております。 また『SFB』は、従来の成形ベローズより50%以上コンパクト設計が可能な スーパー成形ベローズです。 【特長】 ■溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回) ■従来の成形ベローズよりバネ定数が1/2以下 ■従来の成形ベローズより50%以上コンパクト設計が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD

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