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首页> 目录 > 半导体制造装置/电子零部件制造装置/相关装置 > 电子束扫描装置 > 针对金属膜的EB枪 EGN系列
EGN系列是采用顶层标识结构和15mm蒸发材料的EB枪。对于电子束蒸发源的成膜面积相对减少来实现高维护性。
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