IGS,即模组化气体供应系统(Integrated Gas System)是根据以下六大基本理念开发研究生产的产品。 1. 提升基本技术的性能。 2. 小型化。 3. 提升安全性。 4. 提升施工、维修效率。 5. 标准化设计。 6. 降低成本。 曾在2005年度内阁总理大臣表彰第一届产品制造日本大奖中荣获优秀奖。
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 日立国际电气(上海)有限公司 爱发科真空技术(苏州)有限公司 上海盛韬半导体科技有限公司 中微半导体设备(上海)有限公司 中国电子科技集团第四十八研究所 理想能源设备(上海)有限公司 北京邦联成科技有限公司 上海东富龙科技股份有限公司 千野测控设备(昆山)有限公司 上海佐竹冷热控制技术有限公司 等