SWELL GARIVA　 真空阀门，真空闸阀_产品、服务

开口宽度400mm～2000mm！ 与第六代，第七代基板对应的闸阀标准化！

相对于FPD制造设备中玻璃基板的大型化，IKC是半导体制造设备，
通过在真空机器等领域积累的技术和自主研发的技术，应对这一挑战
开发了大型闸阀。
用于FPD制造设备的对应各代基板尺寸的灯泡系列化
所以我来介绍一下。
【阵容】
■KOSLARZE-II:由升降缸和凸轮组成
■NEW KOSLARZE:由升降缸和密封缸组成
■链接:由安装在阀板中的提升缸和连杆机构组成
■SWELL GARIVA:安装在提升缸和阀板内部
由密封缸组成
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