SWELL GARIVA  真空阀门,真空闸阀_产品、服务

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SWELL GARIVA  真空阀门,真空闸阀

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SWELL GARIVA  真空阀门,真空闸阀

开口宽度400mm~2000mm! 与第六代,第七代基板对应的闸阀标准化!

相对于FPD制造设备中玻璃基板的大型化,IKC是半导体制造设备,
通过在真空机器等领域积累的技术和自主研发的技术,应对这一挑战
开发了大型闸阀。
用于FPD制造设备的对应各代基板尺寸的灯泡系列化
所以我来介绍一下。
【阵容】
■KOSLARZE-II:由升降缸和凸轮组成
■NEW KOSLARZE:由升降缸和密封缸组成
■链接:由安装在阀板中的提升缸和连杆机构组成
■SWELL GARIVA:安装在提升缸和阀板内部
由密封缸组成
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URL

http://www.ikc.co.jp/products/valve/square_gate_valve.html

行业

半导体・液晶・FPD 

公司信息

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD

产品、服务特点

【特点】
■无粒子
■高密封性
■易于维护
■更长的使用寿命和更高的品质
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用途/应用实际事例

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