下一代自适应闸阀_产品、服务

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下一代自适应闸阀

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下一代自适应闸阀

半导体低颗粒闸阀

随着半导体芯片的小型化,制造设备需要低颗粒。
根据本公司独自的开发,实现低粒子化。
同时,我们降低了振动(比内部低50%),我们可以根据客户的特殊规格进行定制设计。
因为搭载了本公司的Bellows,设计的自由度也很充分。
【特点】
■无粒子
■高水平的密封性能
■易于维护
■超长的使用寿命和高品质
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URL

http://www.ikc.co.jp/products/valve/square_gate_valve.html

行业

半导体・液晶・FPD 

公司信息

入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD 入江工研株式会社 IRIE KOKEN CO., LTD

产品、服务特点

【其他功能】
■在不滑动的情况下保持设备内部的高度清洁状态。
■密封保持时间长,对反压密封表现出稳定的密封性能。
■根据客户的要求设计,并考虑到易维护性
■带有阀箱的类型在上部设有维护法兰,
可以从顶部安装和拆卸阀板
■100万次生命周期和稳定的质量
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COMPACT KOSLARZEII 真空阀门,真空闸阀

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